ATM北京阿蒂姆过程控制有限公司

质量流量计(以水为标准)
L01	min. 1.5 ...30 mg/h max. 0.1 ......2 g/h
L1	min. 0.1 ..........5 g/h max. 2 ......100 g/h
L2	min. 2 ......100 g/h max. 20 ....1000 g/h
L30	min. 0.04 ......2 kg/h max. 0.4 ......20 kg/h

　　应用领域：食品业；应用生物工程；分析的实验室；半导体行业；蒸发过程
特点响应速度快，测量精度高；单相配电＋15V或＋24V；模拟型（L1/L2/L30型）数字型（L10/L20型）用户自选；直通式结构设计（无旁路）；测量精度不受安装方位影响。

mU-FLOW微流量液体质量流量计/控制器
L0系列（详细资料下载）
L01系列（详细资料下载）
BRONKHORST 为了满足用户对微小流量液体实行测量与控制的需求。BRONKHORST开发了微小流量系列产品，流量范围从0-250mg/h到0-2g/h(水为介质)。该系列质量流量计可以同LIQUI-FLOW控制阀组合，在上述流量范围内实现连续稳定的流量控制。新型的微小流量系列产品可选装数字线路板其最小测量值可达500毫微升/分。
　应用领域：半导体工业；光纤制造；食品业；应用生物工程；分析的实验室等
　特点:测量精度为2%;无移动部件;通过测量原理;反应速度快;无须重置死区;可以与控制阀整体形成回路控制;RS232数据接口;不锈钢传感器

系列	流量范围
Liquid Flow Meter Series L01	min. 1.5 ... 30 mg/h max. 0.1 .. 2 g/h
Liquid Flow Controller Series L01V02	min. 5 ... 100 mg/h max. 0.1 ... 2 g/h

LIQUI-FLOW数字式L10/L20液体质量流量计/控制器
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L10/L20系列数字式液体质量流量计/控制器是运用BRONKHORST HI-TECH的流量通过原理制造的测量低流量液体的产品。
　应用领域：半导体工业;高纯液体;化学工业;分析和环境的研究;食品;光纤。
　特点:测量精度为2%;无移动部件;通过测量原理;反应速度快;无须重置死区;可以与控制阀整体形成回路控制;RS232数据接口;不锈钢传感器

系列	流量范围
Liquid Flow Meter Series L13 Series L23	min. 0.1 ... 5 g/h - max. 5 ... 100 g/h min. 2 ... 100 g/h - max. 20 ... 1000 g/h
Liquid Flow Controller Series L13V02 Series L23V02	min. 0.25 ... 5 g/h - max. 5 ... 100 g/h min. 2 ... 100 g/h - max. 20 ... 1000 g/h

LIQUI-FLOW液体质量流量计/控制器
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　LIQUI-FLOW液体质量流量计/控制器是专用于液体测量的质量流量计/控制器，测定范围从0… 5 g/h到 0… 20kg/h(水为介质)。适应压力从负压到400 bar。LIQUI-FLOW系列产品采用直通式结构设计压损极小，测量时产生的温升十分有限约为1…5℃。这一特性极大的限制了液体挥发所带来的危险和由于介质温度升高导致的质变。
　LIQUI-FLOW 流量计拥有一个完整的控制功能而且能被连接到 COMBI-流量控制阀来形一个控制槽。
　应用领域：食品业；应用生物工程；分析的实验室；半导体行业；蒸发过程
特点响应速度快，测量精度高；单相配电＋15V或＋24V；模拟型（L1/L2/L30型）数字型（L10/L20型）用户自选；直通式结构设计（无旁路）；测量精度不受安装方位影响。

质量流量计(以水为标准)
L01	min. 1.5 ...30 mg/h max. 0.1 ......2 g/h
L1	min. 0.1 ..........5 g/h max. 2 ......100 g/h
L2	min. 2 ......100 g/h max. 20 ....1000 g/h
L30	min. 0.04 ......2 kg/h max. 0.4 ......20 kg/h

CEM系统混合器/蒸发器
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　 CEM蒸发和混合系统(Controlled Evaporation and Mixing)是一种替代传统的发泡装置的应用于大气压和真空的工艺中的创新的液体流量系统。该系统包括一台液体质量流量控制器，一台用做载气的气体质量流量控制器和一个带有温度控制的混料蒸发装置。这个系统适合于混合液体的流量25-1000 g/h或形成的5 sccm 到20 slm饱和蒸汽。CEM系统最新的应用在于可以将固态溶于溶剂后顺利的混合。?br> 　应用领域：CVD、MOCVD等半导体设备;饱和气体的检验和分析系统;湿燃料;麻醉等。
　特点:精确的控制气体和液体的混合;反应速度快;高重复性;非常稳定的蒸发流量;可灵活选择液体/气体的混合比例;低的工作温度甚至超过了传统的工艺.

　工作参数:

系列	规格	最大液体量(基于水)	最大气体量	最高温度
W-101	10 W,for m -FLOW	2 g/h liquid	1 ln/min gas	200°C
W-102	10 W, for LIQUI-FLOW	10 g/h liquid	1 ln/min gas	200°C
W-202	100 W, for LIQUI-FLOW	100 g/h liquid	10 ln/min gas	200°
W-303	1000 W, for LIQUI-FLOW	1000 g/h liquid	100 ln/min gas	140-200°C

FLUICAL便携式校验系统
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BRONKHORST HI-TECH发展了便携式的气体流量/压力校验系统去满足客户现场校验仪器的需要。
该校验系统体积小、重量轻、并带有手柄。包含有一系列流量/压力的精确的校验数据模块,通道数量根据客户的实际需要确定。
　该校验系统可以确保客户精确校验气体质量流量计/控制器、气体电子压力计/控制器,将校验的仪器通过测量得出的数值与精度更高的仪器数值进行比较、修订从而实现仪器的校验。
　为了达到精确的数值,并与校验的多元函数进行比较,该校验系统可以通过标准的流量接口及数字接口与BRONKHORST的E-7000数字配电/显示系统连接,另外还可以选择装配FLOW-BUS/RS232接口和FLOW-BUS/PROFIBUS-DP接口。

主体结构材料	铝或不锈钢
密封材料	Viton, 其他可选
接口(前/后面板)	1/8", 1/4" or 1/2" 卡套 6 mm or 12 mm卡套
精度	根据客户的要求最高精度可达0,5%读数0,1全量程
流量范围	最小0,5....10 mln/min 最大50......1000 ln/min ( 基于空气) 单一的仪器更大的量程为20....1000 m3n/h
压力	最大10 bar ( 限于流量计量)
压力范围	最小2....100 mbar abs/gauge 最大1.....20 bar abs/gauge
壳体	1/2 19" or 19" 桌面顶置并配带手柄
电源	100....240 V交流, 24 V交流, 24 V直流( 或特定)